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西能光伏科技有限公司
联系人：宋强伟 先生 (销售)
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供应韩国MAT-PECVD电加热水洗式尾气处理设备

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详细说明

    韩国MAT尾气处理设备（Scrubber）适用于：薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子中产生的废气.          

 处理的气体包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。

主要有以下优点：

1. 整机设计美观, 安全标准。

2．拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。

3．操作容易上手、保养简单快速、零料件经久耐用，性价比高

4．燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定。

System type

    Heat-Wet



 Features

   * Easy Maintenance : Long PM term

   * Vertical structure : Strong for powder clogging 

   * Reduced footprint

   * High performance



 Capacity & Dimensions

    500SLM

   700mm(W)x850mm(D)x1610mm(H)



 Utility

    Power(220V), CDA, N2, Water, Drain, Exhaust

 
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